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合肥造“光刻机”产品处于****水平

   “合肥市非常有眼光,引进这样一项******的项目。”昨天,两位中国工程院院士张钟华、叶声华,在合肥为中国首台高精度“光刻机”做鉴定并高度“喝彩”。

    张钟华院士在刚刚落幕的2007年国家科技奖励大会上获得国家科技进步一等奖,他与叶声华院士分别是国内上等的精密电磁测量专家和测试计量技术及仪器专家。受合肥市邀请,昨天他俩来肥领衔为中国首台高精度“光刻机”进行技术鉴定(该“光刻机”本报曾多次做过一家报道)。9人专家组为该机做出高度评价:“产品填补了国内空白,整体技术在同类产品中达到国际先进水平,标志着我国亚微米级光刻机完全依赖进口的局面被打破。”

    昨天下午,两院士在合肥经济开发区“光刻机”鉴定新闻发布会上盛赞合肥市政府和领导的眼光,“合肥市领导非常有远见,在该项目实施初期就意识到它的重要性和高科技性,慧眼把光刻机这样的先进技术引到合肥。这样的技术不仅******,而且对创造经济价值和社会效益都具有非常大的意义。”

    据悉,2005年,来自美国硅谷的5名投资创业者来到合肥,投资研发国内首台直写式“光刻机”。去年11月底,该机成功面世。

    据介绍,该项目之所以重大优异,是因为“光刻机是生产芯片的*关键设备,由一片空白的晶圆成为一块电子元器件,其中所有的电路图案都是由光刻机制作的”。我国目前已成为全球*大的集成电路消耗国,据统计,所用集成电路占全球的24%以上,但集成电路国内市场自给率却少于10%,故而光刻机被国家“十一五”发展规划明确定义为重点制造装备。

    据悉,在合肥制造的直写式光刻机分辨率达到亚微米级,在主要性能指标分辨率等方面,与目前在此领域先进的日本和德国同类产品相比,处于****水平,而该机的价格不到国外的1/3。